Pressemitteilung 2007/271 vom

Die Abteilung Halbleiterphysik der Universität Leipzig ist mit ihrem Projekt "ZnO-Nanonadeln auf Saphir" auf dem gemeinsamen Stand Sachsens, Sachsen-Anhalts und Thüringens auf der NanoSolutions 2007 in Frankfurt vertreten.

Die Leipziger Halbleiterphysiker um Professor Marius Grundmann, Direktor des Instituts für Experimentelle Physik II, sind auf dem Messestand mit einem Ellipsometer angetreten. Dr. Rüdiger Schmidt-Grund aus der Arbeitsgruppe Grundmann führt das Gerät vor, mit dem zerstörungsfrei Nanostrukturen optisch charakterisiert werden können.

Nanostrukturen spielen in der heutigen Technologie aufgrund der zunehmenden Miniaturisierung (z. B. in der Elektronik und Photonik) eine immer größere Rolle. Jedoch steigen mit immer kleiner werdenden Größe der Strukturen die Anforderungen an die Charakterisierung. Die Methoden müssen sicherstellen, dass gezielt einzelne Bereiche der Struktur, z. B. Mikro- und Nanodrähte, aber auch lokale Stellen in komplizierten Schichtsystemen, ausgewählt und charakterisiert werden können. Die Arbeiten finden im Profilbildenden Forschungsbereich 1 ("Von Molekülen und Nanoobjekten zu multifunktionalen Materialien und Prozessen") an der Universität Leipzig statt.

Eine Methode für die optische Charakterisierung von Nanostrukturen ist die Ellipsometrie. Sie erlaubt es, zerstörungsfrei das Reflektionsvermögen und die optischen Eigenschaften sowie die Dicke der einzelnen Schichten, aus dem die Strukturen bestehen, zu bestimmen. Zusätzlich kann mit Hilfe dieser Methode auch die Homogenität der Dicke der einzelnen Schichten und der optischen Eigenschaften von großflächigen Gebieten überprüft werden.

Damit ist es möglich, eine Korrelation zwischen den optischen Eigenschaften und den Herstellungsbedingungen zu finden, um ein gezieltes Beeinflussen der optischen Eigenschaften dieser Strukturen zu erreichen.